加料室流量控制

本应用中使用的产品:

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  QB3高流量（30 SCFM）电子压力控制器

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  FQPV2质量流量控制器

激光充电室流量控制

该草图显示了一个激光充电室流量控制应用，该应用需要一种可动态调节的三种气体混合物。三f系列闭环流量控制器使用–每种受控气体一个。可以通过调节相应流量控制器的指令信号来改变混合物。由于这是一个闭环控制方案，来自流量监测器的信号可用于数据采集。该信号在的引脚5上提供FQPV2s主电气连接器。

A QB3在本申请中也用于控制装料室中的真空。真空度是一个关键部件，需要可重复的控制来帮助维持充气室中每种气体的适当水平。